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基础技术参数：
型  号： FUNCTION 564
行     程： X轴  500 mm
	Y轴	  600 mm
	Z轴  400 mm	
结构型式：活动桥式
传动方式：直流伺服系统 + 预载荷**空气轴承
长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
机    台：**花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：120 L/min – 140 L/min
整机尺寸(LWH)：1.4 m X 1.6 m X 2.4m
机台承重：550 kg	，整机重量：850 Kg
空间测量精度：（2.8+L/300）μm